 |
SiC Wafer Hand untuk penanganan wafer, Kamar bersih kompatibel, tahan korosi, antarmuka yang dapat disesuaikan
Detail produk:
| Nama merek: | ZMSH |
|
Informasi Detail |
|||
| Kepadatan: | 3.21g/cm ³ | Kekerasan: | Kekerasan 2500vickers |
|---|---|---|---|
| Ukuran butir: | 2 ~ 10μm | Kemurnian Kimia: | 99.99995% |
| Kapasitas Panas: | 640J · kg-1 · k-1 | Suhu sublimasi: | 2700℃ |
Deskripsi Produk
Pengantar Produk Wafer Hand
SiC wafer tangan adalah efektor akhir yang dirancang untuk menangani wafer dengan kekerasan tinggi dan stabilitas termal.Ini menawarkan kekuatan mekanik yang sangat baik, ketahanan korosi, daya tahan termal, dan kinerja ultra-bersih.dan safir di ruang bersih dan lingkungan suhu tinggi.
Struktur & Prinsip Kerja Wafer Hand
Tangan wafer SiC mendukung wafer dengan tepi atau bagian belakang mereka menggunakan struktur seperti garpu atau platform khusus.atau pegangan mekanis memungkinkan transfer tanpa kontak atau minimal kontakKekakuan strukturalnya yang tinggi memastikan stabilitas dimensi selama transportasi, memungkinkan posisi wafer yang akurat dan risiko kontaminasi minimal.
Bidang Aplikasi Wafer Hand
Tangan wafer banyak digunakan dalam proses semikonduktor dan optoelektronik berikut:
1Sistem transportasi wafer (misalnya, EFEM, FOUP loader, SMIF pod interface)
2. Pengisian/pengurangan wafer untuk litografi, etching, implan ion, pengolahan termal
3Alat inspeksi, pemisahan, dan klasifikasi wafer
4.Pengikat mati, mengiris, kemasan, dan stasiun pengujian akhir
5Pengolahan presisi dalam panel tampilan, MEMS, dan pembuatan biochip
6. Cocok untuk Si, SiC, GaAs, GaN, safir dan substrat lainnya
Keuntungan Produkdari WTangan sebelah
A: Mendukung wafer 2 inci hingga 12 inci; ukuran khusus juga tersedia.
T2: Apakah tangan wafer akan menggores atau mencemari wafer?
A: Tidak. Tangan ini terbuat dari bahan tahan karat dengan ujung bergerigi dan sesuai dengan cleanroom.
P3: Dapatkah diintegrasikan dengan sistem robot?
A: Ya, mendukung berbagai antarmuka robot (misalnya, SECS / GEM, standar SEMI) dan dapat disesuaikan untuk sistem tertentu.
T4: Berapa umur layanan yang diharapkan dan persyaratan pemeliharaan?
A: Dirancang untuk lebih dari 1 juta siklus operasi dengan perawatan minimal; pembersihan berkala sudah cukup.
Q5: Dapatkah disesuaikan berdasarkan bahan wafer yang berbeda (Si, SiC, Sapphire, dll)?
A: Ya. Kami menawarkan desain khusus yang dioptimalkan untuk berbagai bahan wafer dengan struktur pendukung yang sesuai.
Produk terkait
Wafer SiC 12 inci Wafer Karbida Silikon 300mm Wafer Dummy Konduktif Kelas N-Tipe Kelas Penelitian
4H/6H P-Type Sic Wafer 4inch 6inch Z Grade P Grade D Grade Off Axis 2.0°-4.0° Ke arah P-type Doping