SiC Epitaxial Wafer Ringkasan

SiC Epitaxial Wafers sekarang muncul sebagai faktor bentuk paling canggih dalam industri SiC.8 SiC epitaxial wafer menawarkan kesempatan yang tak tertandingi untuk meningkatkan produksi perangkat daya sambil menurunkan biaya per perangkat.

Karena permintaan untuk kendaraan listrik, energi terbarukan, dan elektronik tenaga industri terus meningkat secara global, wafer memungkinkan generasi baru SiC MOSFET, dioda,dan modul daya terintegrasi dengan throughput yang lebih tinggi, hasil yang lebih baik, dan biaya manufaktur yang lebih rendah.

Dengan sifat bandgap yang luas, konduktivitas termal yang tinggi, dan tegangan pemecahan yang luar biasa, wafer SiC membuka tingkat kinerja dan efisiensi baru dalam elektronik daya canggih.

Bagaimana Wafer Epitaxial SiC Dibuat

Pembuatan wafer epitaxial SiC membutuhkan reaktor CVD generasi berikutnya, kontrol pertumbuhan kristal yang tepat, dan teknologi substrat ultra datar:

1. Pembuatan substrat
   Substrat SiC monokristalin diproduksi melalui teknik sublimasi suhu tinggi dan kemudian dipoles hingga kasar sub-nanometer.

2. CVD Pertumbuhan Epitaxial
   Alat CVD skala besar canggih beroperasi pada ~ 1600 °C untuk mendeposit lapisan epitaxial SiC berkualitas tinggi pada substrat 8 ′′, dengan aliran gas dan keseragaman suhu yang dioptimalkan untuk menangani area yang lebih besar.

3. Doping yang Disesuaikan
   Profil doping tipe N atau tipe P dibuat dengan seragam tinggi di seluruh wafer 300 mm.

4. Metrologi Presisi
   Pengendalian keseragaman, pemantauan cacat kristal, dan manajemen proses in-situ memastikan konsistensi dari pusat wafer ke tepi.

5. Penjaminan Mutu yang Komprehensif
   Setiap wafer divalidasi melalui:

   • AFM, Raman, dan XRD

   • Pemetaan cacat wafer penuh

   • Roughness permukaan dan analisis warp

   • Pengukuran sifat listrik

Spesifikasi

Aplikasi

 Wafer epitaxial SiC memungkinkan produksi massal perangkat daya yang dapat diandalkan di sektor termasuk:

• Kendaraan Listrik (EV)
  Inverter traksi, pengisi daya onboard, dan konverter DC/DC.

• Energi Terbarukan
  Inverter string surya, konverter tenaga angin.

• Penggerak Industri
  Penggerak motor yang efisien, sistem servo.

• Infrastruktur 5G / RF
  Penguat daya dan saklar RF.

• Elektronik Konsumen
  Kompak, pasokan daya efisiensi tinggi.

Pertanyaan yang Sering Diajukan (FAQ)

1. Apa manfaat dari wafer SiC 8?
Mereka secara signifikan mengurangi biaya produksi per chip melalui peningkatan luas wafer dan hasil proses.

2Seberapa matang produksi SiC 8?
Saat ini, kami telah memulai produksi percontohan dengan para pemimpin industri terpilih. Wafer kami sekarang tersedia untuk penelitian dan pengembangan dan peningkatan volume.

3Apakah doping dan ketebalan dapat disesuaikan?
Ya, penyesuaian penuh profil doping dan ketebalan epi tersedia.

4Apakah pabrik yang ada kompatibel dengan wafer SiC 8?
Upgrade peralatan kecil diperlukan untuk kompatibilitas 8 ̊ penuh.

5Berapa waktu lead yang biasa?
6-10 minggu untuk pesanan awal; lebih pendek untuk volume berulang.

6Industri mana yang akan mengadopsi 8 ̊ SiC paling cepat?
Sektor otomotif, energi terbarukan, dan infrastruktur jaringan.

Produk terkait

Wafer SiC 12 inci Wafer Karbida Silikon 300mm Wafer Dummy Konduktif Kelas N-Tipe

4H/6H P-Type Sic Wafer 4inch 6inch Z Grade P Grade D Grade Off Axis 2.0°-4.0° Ke arah P-type Doping