Mesin Pemolesan Sinar Ion
Presisi Tingkat Atom · Pemrosesan Non-Kontak · Permukaan Sangat Halus

Ikhtisar Produk Mesin Pemolesan Sinar Ion
 

Mesin Pemahat/Pemolesan Sinar Ion CNC beroperasi berdasarkan prinsip sputtering ion. Di bawah kondisi vakum, sumber ion menghasilkan berkas plasma, yang dipercepat menjadi berkas ion yang membombardir permukaan benda kerja untuk menghilangkan material tingkat atom, memungkinkan fabrikasi komponen optik yang sangat presisi.

Teknologi ini menawarkan pemrosesan non-kontak, bebas dari tekanan mekanis atau kerusakan di bawah permukaan, dan ideal untuk optik presisi tinggi dalam astronomi, dirgantara, semikonduktor, dan penelitian ilmiah.

Prinsip Kerja Mesin Pemolesan Sinar Ion

• Pembangkitan Ion – Gas inert (misalnya, argon) dimasukkan ke dalam ruang vakum dan diionisasi oleh medan pelepasan listrik.

• Percepatan Ion & Pembentukan Berkas – Ion dipercepat hingga ratusan atau ribuan elektron volt (eV) dan dibentuk menjadi titik berkas yang stabil oleh optik pemfokusan.

• Penghilangan Material – Berkas ion secara fisik menyemburkan atom permukaan tanpa reaksi kimia.

• Pengukuran Kesalahan & Perencanaan Jalur – Kesalahan bentuk permukaan diukur melalui interferometri, kemudian fungsi penghilangan digunakan untuk menghitung waktu tinggal berkas dan menghasilkan jalur pemrosesan.

• Koreksi Loop Tertutup – Siklus pemrosesan dan pengukuran diulang hingga target RMS/PV tercapai.

Fitur Peralatan Mesin Pemolesan Sinar Ion

• Pemrosesan non-kontak – Mampu menangani semua bentuk permukaan

• Laju penghilangan yang stabil – Akurasi koreksi bentuk sub-nanometer

• Tidak ada kerusakan di bawah permukaan – Mempertahankan integritas optik

• Konsistensi tinggi – Fluktuasi minimal di seluruh material dengan berbagai kekerasan

• Koreksi frekuensi rendah/sedang – Tidak ada generasi kesalahan frekuensi menengah-tinggi

• Biaya perawatan rendah – Pengoperasian berkelanjutan jangka panjang dengan waktu henti minimal

Kapasitas Pemrosesan Peralatan Mesin Pemolesan Sinar Ion

Permukaan yang Tersedia:

• Komponen Optik Sederhana: Bidang, bola, prisma

• Komponen Optik Kompleks: Asfer simetris/asimetris, asfer di luar sumbu, permukaan silindris

• Komponen Optik Khusus: Optik ultra-tipis, optik bilah, optik hemisfer, optik konformal, pelat fase, permukaan bentuk bebas, bentuk khusus lainnya

Material yang Tersedia:

• Kaca optik umum: Kuarsa, Mikrokristalin, K9, dll.

• Optik inframerah: Silikon, Germanium, dll.

• Logam: Aluminium, Baja Tahan Karat, Paduan Titanium, dll.

• Material kristal: YAG, Silikon Karbida Kristal Tunggal, dll.

• Material keras/getas lainnya: Silikon Karbida, dll.

Kualitas/Akurasi Permukaan:

• PV < 10 nm

• RMS ≤ 0.5 nm

Keunggulan Produk Mesin Pemolesan Sinar Ion

• Presisi penghilangan tingkat atom – Memungkinkan permukaan yang sangat halus untuk sistem optik yang menuntut

• Kompatibilitas bentuk serbaguna – Dari optik datar hingga bentuk bebas yang kompleks

• Adaptasi material yang luas – Dari kristal presisi hingga keramik keras dan logam

• Kemampuan apertur besar – Memproses optik hingga Φ4000 mm

• Pengoperasian stabil yang diperpanjang – Berjalan 3–5 minggu tanpa perawatan ruang vakum

Model Khas Mesin Pemolesan Sinar Ion

• IBF350 / IBF750 / IBF1000 / IBF1600 / IBF2000 / IBF4000

• Sumbu Gerak: 3-sumbu / 5-sumbu

• Ukuran Benda Kerja Maks: hingga Φ4000 mm

Kasus 1 – Cermin Datar Standar

• Benda Kerja: D630 mm Kuarsa datar

• Hasil: PV 46.4 nm; RMS 4.63 nm

​​

Kasus 2 – Cermin Reflektif Sinar-X

• Benda Kerja: 150 × 30 mm Silikon datar

• Hasil: PV 8.3 nm; RMS 0.379 nm; Kemiringan 0.13 µrad

​

Kasus 3 – Cermin Di Luar Sumbu

• Benda Kerja: Cermin tanah di luar sumbu D326 mm

• Hasil: PV 35.9 nm; RMS 3.9 nm

Bidang Aplikasi Mesin Pemolesan Sinar Ion

• Optik astronomi – Cermin utama/sekunder teleskop besar

• Optik luar angkasa – Penginderaan jauh satelit, pencitraan luar angkasa dalam

• Sistem laser berdaya tinggi – Optik ICF, pembentukan berkas

• Optik semikonduktor – Lensa & cermin litografi

• Instrumentasi ilmiah – Cermin sinar-X/neutron, komponen standar metrologi