Nama merek: | ZMSH |
Nomor Model: | Substrat GaN-pada-Si |
MOQ: | 5 |
Ketentuan Pembayaran: | T/T |
GaN-on-Si ((111) N/P Ttype substrate Epitaxy 4inch 6inch 8inch untuk perangkat LED atau Power
Substrat GaN-on-Si (111) sangat penting dalam elektronik berkinerja tinggi dan optoelektronik karena bandgap yang luas, mobilitas elektron yang tinggi, dan konduktivitas termal.Substrat ini memanfaatkan efisiensi biaya dan skalabilitas silikonNamun, tantangan seperti ketidakcocokan kisi dan perbedaan ekspansi termal antara GaN dan Si (111) harus ditangani untuk mengurangi kepadatan dan tekanan dislokasi.Teknik pertumbuhan epitaxial lanjutan, seperti MOCVD dan HVPE, digunakan untuk mengoptimalkan kualitas kristal. substrat GaN-on-Si (111) banyak digunakan dalam elektronik daya, perangkat RF, dan teknologi LED, menawarkan keseimbangan kinerja,biaya, dan kompatibilitas dengan proses manufaktur semikonduktor yang ada.
Gallium Nitride on Silicon (GaN-on-Si) adalah teknologi substrat yang menggabungkan sifat Gallium Nitride (GaN) dengan efisiensi biaya dan skalabilitas Silicon (Si).Substrat GaN-on-Si sangat populer dalam elektronik dayaDi bawah ini adalah beberapa sifat dan keuntungan utama substrat GaN-on-Si:
Substrat GaN-on-Si menawarkan solusi hemat biaya untuk mengintegrasikan sifat kinerja tinggi GaN dengan kemampuan manufaktur skala besar silikon,membuat mereka teknologi penting dalam berbagai aplikasi elektronik canggih.
Kategori parameter | Parameter | Nilai/Jangkauan | Pengamatan |
---|---|---|---|
Sifat-sifat material | Bandgap GaN | 3.4 eV | Semikonduktor bandgap lebar, cocok untuk suhu tinggi, tegangan tinggi, dan aplikasi frekuensi tinggi |
Bandgap Si | 1.12 eV | Silikon sebagai bahan substrat menawarkan efisiensi biaya yang baik | |
Konduktivitas Termal | 130-170 W/m·K | Konduktivitas termal lapisan GaN; substrat silikon adalah sekitar 149 W/m·K | |
Mobilitas Elektron | 1000-2000 cm2/V·s | Mobilitas elektron pada lapisan GaN, lebih tinggi daripada pada silikon | |
Konstan Dielektrik | 9.5 (GaN), 11.9 (Si) | Konstan dielektrik GaN dan Si | |
Koefisien Ekspansi Termal | 50,6 ppm/°C (GaN), 2,6 ppm/°C (Si) | Ketidakcocokan dalam koefisien ekspansi termal GaN dan Si, berpotensi menyebabkan stres | |
Konstan kisi | 3.189 Å (GaN), 5.431 Å (Si) | Ketidaksesuaian konstan kisi antara GaN dan Si, berpotensi menyebabkan dislokasi | |
Densitas Dislokasi | 108-109 cm−2 | Kapadatan dislokasi khas pada lapisan GaN, tergantung pada proses pertumbuhan epitaxial | |
Kekerasan Mekanis | 9 Mohs | Kekerasan mekanik GaN, memberikan ketahanan terhadap keausan dan daya tahan | |
Spesifikasi Wafer | Diameter Wafer | 2, 4, 6, 8 inci. | Ukuran umum untuk GaN pada wafer Si |
Ketebalan lapisan GaN | 1-10 μm | Tergantung pada kebutuhan aplikasi khusus | |
Ketebalan substrat | 500-725 μm | Ketebalan khas substrat silikon untuk kekuatan mekanik | |
Keropositas permukaan | < 1 nm RMS | Keruwetan permukaan setelah dipoles, memastikan pertumbuhan epitaxial berkualitas tinggi | |
Ketinggian langkah | < 2 nm | Ketinggian langkah di lapisan GaN, mempengaruhi kinerja perangkat | |
Wafer Bow | < 50 μm | Wafer bow, mempengaruhi kompatibilitas proses | |
Sifat Listrik | Konsentrasi Elektron | 1016-1019 cm−3 | konsentrasi doping tipe n atau tipe p di lapisan GaN |
Resistivitas | 10−3-10−2 Ω·cm | Resistivitas khas lapisan GaN | |
Penghancuran medan listrik | 3 MV/cm | Kekuatan medan pemecahan tinggi di lapisan GaN, cocok untuk perangkat tegangan tinggi | |
Sifat Optik | Panjang gelombang emisi | 365-405 nm (UV/biru) | Panjang gelombang emisi bahan GaN, yang digunakan dalam LED dan laser |
Koefisien penyerapan | ~ 104 cm−1 | Koefisien penyerapan GaN dalam kisaran cahaya tampak | |
Sifat Termal | Konduktivitas Termal | 130-170 W/m·K | Konduktivitas termal lapisan GaN; substrat silikon adalah sekitar 149 W/m·K |
Koefisien Ekspansi Termal | 50,6 ppm/°C (GaN), 2,6 ppm/°C (Si) | Ketidakcocokan dalam koefisien ekspansi termal GaN dan Si, berpotensi menyebabkan stres | |
Sifat Kimia | Stabilitas Kimia | Tinggi | GaN memiliki ketahanan korosi yang baik, cocok untuk lingkungan yang keras |
Pengolahan Permukaan | Bebas debu, bebas kontaminasi | Persyaratan kebersihan untuk permukaan wafer GaN | |
Sifat Mekanis | Kekerasan Mekanis | 9 Mohs | Kekerasan mekanik GaN, memberikan ketahanan terhadap keausan dan daya tahan |
Modulus Young | 350 GPa (GaN), 130 GPa (Si) | Modulus Young dari GaN dan Si, mempengaruhi sifat mekanik perangkat | |
Parameter Produksi | Metode Pertumbuhan Epitaxial | MOCVD, HVPE, MBE | Metode pertumbuhan epitaxial umum untuk lapisan GaN |
Tingkat Hasil | Tergantung pada kontrol proses dan ukuran wafer | Hasilnya dipengaruhi oleh faktor-faktor seperti kepadatan dislokasi dan busur wafer | |
Suhu Pertumbuhan | 1000-1200°C | Suhu khas untuk pertumbuhan epitaxial lapisan GaN | |
Tingkat pendinginan | Pendinginan terkontrol | Tingkat pendinginan biasanya dikendalikan untuk mencegah stres termal dan wafer busur |
Substrat GaN-on-Si terutama digunakan dalam beberapa aplikasi utama:
Elektronika Daya: GaN-on-Si banyak digunakan dalam transistor daya dan konverter karena efisiensi tinggi, kecepatan switching yang cepat, dan kemampuan untuk beroperasi pada suhu tinggi, menjadikannya ideal untuk catu daya,kendaraan listrik, dan sistem energi terbarukan.
Perangkat RF: Substrat GaN-on-Si digunakan dalam amplifier RF dan transistor gelombang mikro, terutama dalam komunikasi 5G dan sistem radar, di mana kinerja daya dan frekuensi tinggi sangat penting.
Teknologi LED: GaN-on-Si digunakan dalam produksi LED, terutama untuk LED biru dan putih, menawarkan solusi manufaktur yang hemat biaya dan dapat diskalakan untuk pencahayaan dan tampilan.
Fotodetektor dan Sensor: GaN-on-Si juga digunakan dalam fotodetektor UV dan berbagai sensor, yang mendapat manfaat dari bandgap GaN yang luas dan sensitivitas tinggi terhadap sinar UV.
Aplikasi ini menyoroti fleksibilitas dan pentingnya substrat GaN-on-Si dalam elektronik modern dan optoelektronik.
T: Mengapa GaN lebih dari si?
A:GaN on Si menawarkan solusi hemat biaya untuk elektronik berkinerja tinggi, menggabungkan keuntungan dari bandgap lebar GaN, mobilitas elektron yang tinggi,dan konduktivitas termal dengan skalabilitas dan keterjangkauan substrat silikon. GaN sangat ideal untuk aplikasi frekuensi tinggi, tegangan tinggi, dan suhu tinggi, menjadikannya pilihan yang unggul untuk elektronik daya, perangkat RF, dan LED.Substrat silikon memungkinkan ukuran wafer yang lebih besar, mengurangi biaya produksi dan memfasilitasi integrasi dengan proses manufaktur semikonduktor yang ada.teknik canggih membantu mengurangi masalah ini, membuat GaN pada Si pilihan yang menarik untuk aplikasi elektronik dan optoelektronik modern.
T: Apa itu GaN-on-Si?
A: GaN-on-Si mengacu pada lapisan gallium nitride (GaN) yang tumbuh pada substrat silikon (Si).dan kemampuan untuk beroperasi pada tegangan tinggi dan suhuKetika ditanam pada silikon, itu menggabungkan sifat canggih GaN dengan biaya-efektif dan skalabilitas silikon.Perangkat RF, LED, dan perangkat elektronik dan optoelektronik kinerja tinggi lainnya.Integrasi dengan silikon memungkinkan ukuran wafer yang lebih besar dan kompatibilitas dengan proses manufaktur semikonduktor yang ada, meskipun tantangan seperti ketidakcocokan kisi harus dikelola.