Gambaran Produk

Cincin Keramik Silikon Karbida adalah komponen yang direkayasa presisi yang diproduksi dari keramik silikon karbida (SiC) dengan kemurnian tinggi. Dengan sifat luar biasa termasuk ketahanan suhu tinggi, ketahanan korosi yang sangat baik, kekuatan mekanik yang tinggi, dan ketahanan aus yang unggul, cincin keramik SiC banyak digunakan dalam peralatan manufaktur semikonduktor, sistem vakum, tungku suhu tinggi, dan aplikasi industri presisi.

Melalui proses pembentukan, sintering, dan pemesinan presisi yang canggih, komponen-komponen ini dapat mencapai toleransi dimensi yang ketat, geometri yang kompleks, dan hasil akhir permukaan yang sangat baik untuk memenuhi persyaratan industri yang menuntut.

Fitur Utama

1. Kinerja Suhu Tinggi yang Sangat Baik

• Tahan terhadap lingkungan suhu tinggi hingga 1600°C+ tergantung pada tingkatan material dan kondisi aplikasi
• Mempertahankan kekuatan mekanik dan stabilitas dimensi pada suhu tinggi
• Ideal untuk aplikasi pemrosesan termal, epitaksi, difusi, dan tungku suhu tinggi

2. Kemurnian Tinggi dan Kontaminasi Rendah

• Diproduksi dari bahan silikon karbida dengan kemurnian tinggi
• Generasi partikel rendah dan kontaminasi logam minimal
• Cocok untuk lingkungan ruang bersih semikonduktor dan aplikasi pemrosesan wafer

3. Ketahanan Korosi yang Luar Biasa

• Ketahanan yang sangat baik terhadap asam, alkali, dan lingkungan plasma
• Kinerja stabil terhadap gas proses agresif seperti Cl₂, HCl, dan NF₃
• Cocok untuk peralatan etsa semikonduktor, CVD, dan PVD

4. Kekuatan Mekanik dan Ketahanan Aus yang Tinggi

• Kekerasan Mohs sekitar 9
• Ketahanan abrasi yang sangat baik untuk masa pakai yang lama
• Cocok untuk struktur pendukung presisi dan komponen mekanis

5. Kemampuan Pemesinan Presisi

Proses pemesinan yang tersedia meliputi:

• Pemesinan diameter luar dan diameter dalam
• Penggilingan dan pemolesan presisi
• Kontrol toleransi dimensi dan geometris yang ketat
• Struktur kompleks yang disesuaikan

Spesifikasi Produk

Aplikasi

Peralatan Manufaktur Semikonduktor

• Cincin pendukung wafer
• Komponen ruang semikonduktor
• Suku cadang peralatan CVD / PECVD
• Komponen tungku pertumbuhan epitaksi
• Komponen RTP (Rapid Thermal Processing)
• Sistem penanganan dan pendukung wafer

Industri Fotovoltaik

• Komponen tungku suhu tinggi
• Perangkat pemrosesan termal
• Bagian pendukung wafer silikon

Sistem Vakum dan Suhu Tinggi

• Komponen tungku vakum
• Dukungan sistem pemanas
• Struktur isolasi termal

Aplikasi Industri Presisi

• Cincin penyegel tahan aus
• Komponen pompa
• Komponen pemosisian dan pendukung

FAQ – Cincin Keramik Silikon Karbida (Cincin Keramik SiC)

Q1: Apa itu Cincin Keramik Silikon Karbida?

A: Cincin Keramik Silikon Karbida adalah komponen keramik presisi yang diproduksi dari silikon karbida (SiC) dengan kemurnian tinggi. Cincin ini memiliki ketahanan suhu tinggi, ketahanan korosi, kekuatan mekanik, dan ketahanan aus yang sangat baik, membuatnya cocok untuk peralatan semikonduktor, sistem vakum, dan aplikasi suhu tinggi.

Q2: Apa keuntungan utama cincin keramik SiC?

A: Cincin keramik SiC menawarkan beberapa keuntungan:

• Stabilitas suhu tinggi yang sangat baik (hingga 1600°C+ tergantung pada tingkatan material)
• Ketahanan superior terhadap plasma dan korosi kimia
• Kekerasan dan ketahanan aus yang tinggi
• Ekspansi termal rendah dan stabilitas dimensi yang sangat baik
• Generasi partikel rendah untuk aplikasi semikonduktor

Q3: Industri mana yang menggunakan Cincin Keramik Silikon Karbida?

A: Cincin keramik SiC banyak digunakan dalam:

• Peralatan manufaktur semikonduktor
• Sistem CVD, PECVD, dan PVD
• Peralatan pemrosesan dan penanganan wafer
• Sistem pertumbuhan epitaksi
• Tungku vakum
• Peralatan industri suhu tinggi
• Peralatan manufaktur fotovoltaik