Ringkasan Produk

ASapphire Lift Pinadalah komponen rekayasa presisi yang diproduksi dari safir kristal tunggal kemurnian tinggi (Al2O3).Sapphire lift pin digunakan secara luas dalam CVD, PECVD, PVD, MOCVD, RTP, sistem difusi, etching, dan epitaxy, di mana ketahanan suhu tinggi, stabilitas kimia, dan kinerja ultra-bersih sangat penting.

Berkat kekuatan mekanik yang luar biasa dan ketahanan haus dari safir,Pin angkat ini membantu meminimalkan generasi partikel sambil memastikan penanganan wafer yang akurat di seluruh proses manufaktur semikonduktor.

Fitur Utama

Sapphire Kristal Tunggal Berkualitas Tinggi

Dibuat dari safir kristal tunggal kelas optik premium, memberikan kemurnian yang sangat baik, kekuatan mekanik, dan keandalan jangka panjang dalam lingkungan semikonduktor yang menuntut.

Ketahanan terhadap Suhu Tinggi yang Luar Biasa

Sapphire mempertahankan stabilitas dimensi dan sifat mekanik yang sangat baik pada suhu tinggi, membuatnya cocok untuk deposisi suhu tinggi, penggilingan, dan peralatan pengolahan termal.

Ketahanan Kimia dan Plasma yang Luar Biasa

Bahan ini menunjukkan ketahanan yang luar biasa terhadap gas proses korosif, lingkungan plasma, dan bahan kimia agresif, secara signifikan memperpanjang umur komponen.

Generasi Partikel Ultra-Rendah

Dengan kekerasan Mohs 9 dan ketahanan aus yang luar biasa, pin angkat safir mengurangi kontaminasi partikel yang disebabkan gesekan, membantu meningkatkan hasil wafer dan konsistensi proses.

Manufaktur Presisi Tinggi

Masing-masing pin angkat dipotong dengan presisi, dipoles, dan diperiksa untuk memenuhi standar industri semikonduktor yang ketat untuk akurasi dimensi dan permukaan.

Spesifikasi khas

Dimensi dan toleransi khusus tersedia atas permintaan.

Aplikasi

Sapphire Lift Pins banyak digunakan dalam:

• Peralatan pengolahan wafer semikonduktor
• Pengendapan Uap Kimia (CVD)
• Plasma Enhanced CVD (PECVD)
• Deposisi uap fisik (PVD)
• Metal Organik CVD (MOCVD)
• Pengolahan Termal Cepat (RTP)
• Tungku difusi
• Sistem pengetikan plasma
• Peralatan Epitaxy
• Pembuatan semikonduktor SiC dan GaN
• Produksi wafer LED

Keuntungan dari Pin Angkat Sapphire

• Stabilitas termal yang sangat baik di bawah pengolahan suhu tinggi
• Kekerasan dan ketahanan terhadap keausan yang superior (keras Mohs 9)
• Ketahanan korosi kimia dan plasma yang luar biasa
• Generasi partikel ultra-rendah untuk aplikasi kamar bersih
• Isolasi listrik yang tinggi
• Masa pakai yang panjang dengan pemeliharaan yang berkurang
• Stabilitas dimensi yang sangat baik untuk posisi wafer presisi

Pertanyaan yang Sering Diajukan (FAQ)

1Apa itu pin safir?

Sapphire lift pin adalah komponen presisi yang terbuat dari safir kristal tunggal (Al2O3) yang digunakan untuk mengangkat, mendukung, dan posisi wafer semikonduktor selama proses manufaktur.Ini biasanya dipasang di CVD, PVD, PECVD, MOCVD, RTP, dan peralatan etching di mana suhu tinggi, ketahanan kimia, dan generasi partikel rendah diperlukan.

2Mengapa safir digunakan untuk lift pin?

Sapphire menawarkan beberapa keuntungan dibandingkan dengan bahan keramik atau logam konvensional, termasuk:

• Stabilitas suhu tinggi yang sangat baik
• Ketahanan haus yang unggul (ketat Mohs 9)
• Generasi partikel rendah
• Ketahanan kimia dan plasma yang luar biasa
• Isolasi listrik yang tinggi
• Masa pakai panjang

Sifat-sifat ini membuat safir menjadi bahan yang ideal untuk penanganan wafer yang presisi.

3Peralatan semikonduktor apa yang menggunakan pin angkat safir?

Sapphire lift pin banyak digunakan dalam:

• Sistem CVD
• Sistem PECVD
• Peralatan PVD
• Reaktor MOCVD
• Sistem RTP
• Tungku difusi
• Peralatan penggores plasma
• Sistem inspeksi dan penanganan wafer
• Peralatan pembuatan semikonduktor SiC dan GaN