1. Ringkasan

Tray pengangkut proses yang berstruktur radial ini adalah komponen industri canggih yang dirancang untuk aplikasi yang membutuhkan kekuatan mekanik yang luar biasa, stabilitas termal,dan presisi dimensiMenampilkan kombinasi multi-zona slot annular dan jaringan diperkuat dari tulang rusuk dukungan radial,Tray dirancang untuk memberikan kinerja superior dalam lingkungan produksi yang kompleks dan menuntutIndustri seperti manufaktur semikonduktor, epitaxi LED, sintering keramik canggih, dan pengolahan vakum suhu tinggi bergantung pada jenis baki ini untuk memastikan keandalan, konsistensi,dan throughput tinggi.

Geometri baki dioptimalkan untuk mendistribusikan beban mekanik secara merata, mempertahankan kekakuan struktural di bawah tekanan tinggi,dan meningkatkan keseragaman termal selama operasi yang melibatkan pemanasan dan pendinginan yang cepatDikombinasikan dengan bahan keramik atau logam kemurnian tinggi dan proses pemesinan yang kuat, produk ini mewakili generasi baru perlengkapan industri yang dirancang untuk manufaktur yang didorong presisi.

2Fitur Struktural dan Desain Fungsional

2.1 Kerangka slot multi-zona

Tray ini menggabungkan beberapa lapisan slot bulat yang didistribusikan dengan baik.

• Pengurangan berat badan:Massa yang lebih rendah mengurangi inersia selama rotasi dan meningkatkan efisiensi operasi secara keseluruhan.

• Optimasi aliran panas:Slot meningkatkan area disipasi panas yang efektif, memungkinkan distribusi suhu yang seragam di seluruh permukaan.

• Desain untuk mengurangi stres:Pola segmentasi meminimalkan konsentrasi stres termal dan mekanik, mengurangi risiko retak atau bengkok.

Arsitektur multi-zona ini sangat berharga dalam proses sintering suhu tinggi dan proses semikonduktor di mana gradien termal harus dikendalikan dengan tepat.

2.2 Jaringan tulang rusuk radial yang diperkuat

Tulang rusuk radial membentuk kerangka struktural yang saling terkait yang secara signifikan meningkatkan kekuatan mekanik.

• Mendukung beban berat tanpa deformasi

• Meningkatkan stabilitas rotasi ketika dipasang pada spindel

• Tahan lentur atau defleksi selama siklus pemanasan dan pendinginan

• Mempertahankan akurasi dimensi jangka panjang

Kombinasi struktur ringular dan radial menghasilkan desain yang sangat seimbang yang mampu mempertahankan integritasnya di lingkungan industri yang intens.

2.3 Permukaan yang Diproses dengan Presisi Tinggi

Permukaan baki diproduksi dengan menggunakan mesin CNC canggih dan proses pengkondisian permukaan.

• Tinggi datar

• Persamaan ketebalan yang tepat

• Titik kontak pemuatan yang lancar

• Pengurangan gesekan untuk substrat atau perlengkapan

• Kompatibilitas yang konsisten dengan peralatan otomatis

Pemesinan presisi tersebut sangat penting untuk aplikasi semikonduktor dan optik, di mana bahkan penyimpangan kecil dapat menyebabkan cacat atau kehilangan hasil.

2.4 Interface pemasangan terpusat

Pada inti baki adalah antarmuka pemasangan khusus yang terdiri dari beberapa lubang yang dibor presisi.

• Pemasangan aman pada poros berputar

• Perataan dengan perlengkapan tungku atau ruang vakum

• Posisi stabil untuk sistem penanganan otomatis

• Integrasi dengan alat rekayasa khusus

Hal ini memastikan bahwa nampan dengan mudah masuk ke dalam berbagai alur kerja industri dan model peralatan.

2.5 Penguatan struktural di cincin luar

Cincin luar mencakup bantalan penguat tersegmen yang memperkuat tepi dan menjaga keseimbangan rotasi.

• Resistensi getaran

• Stabilitas beban perifer

• Ketahanan pada benturan mekanis berulang

Bersama dengan sistem tulang rusuk internal, cincin luar menciptakan pembawa yang kaku dan stabil yang cocok untuk umur panjang.

3Opsi bahan untuk aplikasi yang berbeda

Tray dapat diproduksi dari beberapa bahan berkinerja tinggi tergantung pada persyaratan aplikasi:

3.1 Sintered Silicon Carbide (SSiC)

• Porositas sangat rendah

• Konduktivitas termal tinggi

• Ketahanan korosi yang sangat baik

• Ideal untuk lingkungan semikonduktor ultra-bersih dan vakum

3.2 Reaksi-Bonded Silicon Carbide (RBSiC)

• Ketahanan kelelahan termal yang sangat baik

• Kekuatan mekanik yang baik

• Biaya efektif untuk produksi massal

• Cocok untuk tungku sintering dan pembuatan LED

3.3 Aluminium Keramik

• Stabil hingga 1600°C

• Murah dan serbaguna

• Cocok untuk beban termal umum dan pengolahan keramik

3.4 Logam kekuatan tinggi (Aluminium / Baja tahan karat)

• Kemampuan kerja yang baik

• Cocok untuk peralatan mekanik, otomatisasi, dan penanganan

• Ideal untuk proses non-termik atau suhu menengah

Setiap bahan dipilih untuk memastikan kinerja maksimal dalam kondisi lingkungan tertentu.

4. Aplikasi Industri Utama

4.1 Manufaktur Semikonduktor

• Tray pembawa untuk sistem CVD dan PECVD

• Platform pendukung untuk proses oksidasi dan difusi

• Pemegang penggilingan dan pengolahan termal cepat (RTP)

• Pengolahan wafer dan alat transfer otomatis

4.2 Produksi LED dan Optoelektronik

• Tray pengisian wafer safir dan SiC

• Pengangkut pengolahan substrat suhu tinggi

• Platform pendukung epitaksial yang membutuhkan profil termal yang stabil

4.3 Pengolahan Bahan Lanjutan

• Metallurgi bubuk dan sintering

• Pemanas substrat keramik

• Tray tungku vakum suhu tinggi

4.4 Mesin otomatisasi dan presisi

• Disk perlengkapan putar

• Plat dasar penyelarasan

• Antarmuka pemasangan peralatan

• Pengangkut otomatis khusus

Fleksibilitasnya membuatnya cocok untuk lingkungan termal dan rekayasa mesin.

5. Keuntungan Utama

5.1 Efisiensi termal

• Distribusi panas yang seragam meminimalkan titik panas

• Cocok untuk siklus termal cepat

• Ideal untuk operasi suhu tinggi yang tepat

5.2 Ketahanan Struktural

• Ketahanan yang sangat baik terhadap tekanan mekanik

• Anti deformasi di bawah perubahan beban dan suhu

• Umur operasi yang panjang mengurangi siklus pemeliharaan

5.3 Stabilitas Proses

• Risiko kontaminasi rendah saat menggunakan SiC atau keramik

• Keakuratan dimensi yang konsisten memastikan hasil produk yang tinggi

• Kompatibel dengan kondisi vakum, inert, atau atmosfer

5.4 Kemampuan penyesuaian

• Dimensi, ketebalan, dan geometri slot dapat disesuaikan

• Berbagai bahan yang tersedia

• Antarmuka pemasangan pusat dapat disesuaikan

• Pilihan finishing dan penandaan permukaan yang ditawarkan

FAQ

1Apa itu baki keramik SiC?

Tray keramik SiC adalah pembawa presisi yang terbuat dari silikon karbida kemurnian tinggi, yang dirancang untuk mendukung, memuat dan mengangkut wafer atau substrat selama semikonduktor, LED, optik,dan pembuatan proses vakumIni menawarkan stabilitas termal yang luar biasa, kekuatan mekanik, dan ketahanan deformasi di bawah lingkungan yang keras seperti suhu tinggi, plasma, dan proses kimia.

2. Apa keuntungan menggunakan baki SiC dibandingkan dengan kuarsa, grafit, atau baki aluminium?

Tray SiC memberikan beberapa keuntungan kinerja yang superior:

• Ketahanan suhu tinggihingga 1600 ∼ 1800 °C tanpa deformasi

• Konduktivitas termal yang sangat baik, memastikan distribusi panas yang seragam

• Kekuatan mekanik dan kekakuan yang luar biasa

• Ekspansi termal rendah, mencegah warpage selama siklus termal

• Ketahanan korosi yang tinggiuntuk gas plasma dan bahan kimia

• Masa pakai yang lebih lamadalam kondisi produksi tegangan tinggi terus menerus

3. Untuk aplikasi apa yang terutama digunakan baki keramik SiC?

Tray SiC banyak digunakan di:

• Penanganan wafer semikonduktor

• Pengolahan termal LPCVD, PECVD, MOCVD

• Proses annealing, difusi, oksidasi, dan epitaxy

• Pengisian wafer safir/substrat optik

• Lingkungan vakum tinggi dan suhu tinggi

• Platform CMP presisi atau perlengkapan polesan

• Fotonik dan peralatan kemasan canggih

4Bisakah baki SiC menahan kelelahan termal?

Ya. keramik SiC menawarkan ketahanan kelelahan termal yang sangat baik karena CTE rendah dan ketahanan fraktur yang tinggi.membuatnya ideal untuk proses siklus suhu tinggi.

Produk terkait

6 Inch Silicon Carbide SiC dilapisi Grafit Tray Resistensi suhu tinggi Plat Grafit

Silicon Carbide Keramik Chuck untuk SiC safir Si GAAs Wafer

Tentang Kami

ZMSH mengkhususkan diri dalam pengembangan teknologi tinggi, produksi, dan penjualan kaca optik khusus dan bahan kristal baru.Kami menawarkan Sapphire komponen optikDengan keahlian yang terampil dan peralatan mutakhir, kami unggul dalam pengolahan produk non-standar,Bertujuan untuk menjadi perusahaan teknologi tinggi terkemuka bahan optoelektronik.