High Purity Sapphire Lift Pin Untuk Penanganan Wafer Semikonduktor Ukuran Custom
Detail produk:
Place of Origin: | China |
Nama merek: | ZMSH |
Syarat-syarat pembayaran & pengiriman:
Kuantitas min Order: | 1 |
---|---|
Payment Terms: | T/T |
Informasi Detail |
|||
Bahan: | Safir Kristal Tunggal | Dimensions: | Customized |
---|---|---|---|
Kekasaran permukaan: | RA ≤ 0,02μm | Working Temperature: | >2000°C |
Bentuk ujung: | Flat 、 bundar 、 meruncing | Mounting: | Mechanical or Threaded |
Menyoroti: | Semikonduktor Wafer Handling Sapphire Lift Pin,Ukuran khusus Sapphire Lift Pin,Pin angkat safir kemurnian tinggi |
Deskripsi Produk
Pengantar Produk
Sapphire lift pin adalah pin lift yang terbuat dari safir kristal tunggal kemurnian tinggi, terutama digunakan dalam peralatan manufaktur semikonduktor untuk mendukung dan memindahkan wafer.Berkat ketahanan suhu tinggi yang luar biasa dari safir, stabilitas kimia, dan kekerasan ekstrim, pin angkat safir dapat mempertahankan kinerja yang stabil di lingkungan yang keras. Menggunakan pin angkat safir sangat mengurangi risiko kontaminasi wafer,memperpanjang umur peralatan, dan meningkatkan hasil proses secara keseluruhan.
Prinsip Dasar
Prinsip dasar dari pin angkat safir adalah untuk mengangkat atau menurunkan wafer secara akurat selama pengolahan untuk memastikan posisi yang tepat.Beberapa pin angkat safir biasanya bekerja bersama-sama untuk mencegah penyimpangan atau kerusakan waferKarena pin angkat safir tahan terhadap suhu tinggi, vakum, dan lingkungan korosif, ia menawarkan umur layanan yang jauh lebih lama dan keandalan yang lebih tinggi daripada bahan konvensional.
Spesifikasi
Artikel | Spesifikasi |
---|---|
Bahan | Safir Kristal Tunggal |
Dimensi | Disesuaikan |
Keropositas permukaan | Ra ≤ 0,02 μm |
Suhu Kerja | > 2000°C |
Koefisien Ekspansi Termal | 5.8 × 10−6 /°C |
Kekuatan Flexural | ≥ 400 MPa |
Transparensi | Transmittansi tinggi dalam kisaran terlihat |
Ketahanan Korosi | Bagus sekali. |
Bentuk ujung | Datar, Bulat, Kerucut |
Pemasangan | Mesin atau Threaded |
Aplikasi
Sapphire lift pin banyak digunakan dalam peralatan untuk mengikis (Etch), pendinginan uap kimia (CVD), pendinginan uap fisik (PVD), dan pendinginan lapisan atom (ALD).dan pendinginan, Sapphire Lift Pins memainkan peran penting dalam mendukung dan posisi. Terutama dalam perangkat optoelektronik, produksi MEMS, dan manufaktur semikonduktor daya,pin safir lift telah menjadi komponen inti.
Pertanyaan dan Jawaban
Pertanyaan 1: Mengapa memilih pin angkat safir alih-alih keramik atau logam?
A1: Pin angkat safir menawarkan ketahanan kimia dan stabilitas termal yang lebih tinggi, mampu beroperasi dalam jangka panjang dalam gas korosif dan lingkungan suhu tinggi.
T2: Apakah pin angkat safir menghasilkan partikel selama digunakan?
A2: Karena permukaannya yang sangat halus, pin angkat safir memiliki risiko sangat rendah dari generasi partikel, menjadikannya ideal untuk proses ultra-bersih.
T3: Apakah mesin yang berbeda membutuhkan pin angkat safir khusus?
A3: Ya, tergantung pada model mesin dan persyaratan proses, pin angkat safir sering perlu disesuaikan dalam ukuran, bentuk, dan antarmuka koneksi.
Produk terkait