Sapphire lift pin untuk semikonduktor Ceramic lift pins Sapphire pin kemurnian tinggi

Sapphire lift pin untuk semikonduktor Ceramic lift pins Sapphire pin kemurnian tinggi

Abstrak dari Sapphire lift pin

Sapphire lift pin adalah komponen teknik presisi yang banyak digunakan dalam

peralatan pengolahan semikonduktor, terutama dalam penanganan wafer, epitaxialpertumbuhan, dan sistem deposisi seperti MOCVD (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition), PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition), dan suhu tinggi lainnya, vakum,atau lingkungan korosifDibuat dari aluminium oksida kristal tunggal (Al2O3), juga dikenal sebagai safir sintetis, pin angkat ini dihargai karena kekerasan, stabilitas termal, ketahanan kimia,dan daya tahan.

Sifat dari Sapphire lift pin

Sapphire lift pin sering dirancang khusus

Keuntungan dari Pin Angkat Sapphire

a.Tahan terhadap Suhu Tinggi

Sapphire mempertahankan kekuatan mekaniknya pada suhu melebihi 1.500 ° C, membuatnya cocok untuk reaktor epitaxial dan ruang deposisi di mana bahan lain dapat melengkung, teroksidasi, atau terdegradasi.

b. Stabilitas Kimia

Sapphire secara kimiawi inert dalam gas reaktif dan korosif seperti H2, NH3, dan HF, memastikan kinerja jangka panjang dalam lingkungan CVD dan etching.

c. Kekerasan yang Ekstrim

Kekerasan permukaan yang tinggi menahan keausan dan goresan dari kontak wafer dan pemicu mekanis.

d. Keakuratan Dimensi

Sapphire dapat diolah dengan toleransi yang ketat (± 1 μm), memastikan ketinggian angkat wafer yang konsisten, akurasi penentuan posisi, dan keandalan penyelarasan.

e.Generasi Partikel Rendah

Berbeda dengan keramik atau logam yang dilapisi yang dapat pecah atau keluar gas di bawah siklus termal, safir tidak menghasilkan partikel, yang sangat penting untuk lingkungan proses kamar bersih dan ultra-murni.

f.Umur Pelayanan yang Panjang

Ketahanan dan stabilitas Sapphire® dalam kondisi ekstrem berkontribusi pada frekuensi pemeliharaan yang lebih rendah dan waktu operasi peralatan yang lebih lama.

Gambar fisik dari pin angkat safir

Aplikasi Pin Angkat Sapphire

Sapphire lift pins digunakan dalam berbagai proses semikonduktor dan bahan canggih di mana wafer perlu ditangani dengan tepat selama pembuatan.

a. Sistem MOCVD

• Pertumbuhan semikonduktor senyawa berbasis GaN, GaAs, dan InP

• Produksi LED dan dioda laser

• Wafer safir dan substrat siap epi

b.Reaktor PECVD dan LPCVD

• Transfer wafer selama deposisi film tipis berbasis plasma

• Digunakan dalam mikroelektronika, sel surya, MEMS, dan fotonik

c.Tungku Pengolahan Termal

• Tahap penggilingan, oksidasi, atau difusi suhu tinggi

d.Pemeriksaan dan Penanganan Wafer

• Sistem mekanik yang secara sementara mendukung atau memanipulasi wafer

e.Ruang Etching dan Pembersih

• Di mana ketahanan kimia sangat penting selama pra-pembersihan atau striping wafer

Pertanyaan dan Jawaban

T: Faktor-faktor utama apa yang harus dipertimbangkan saat membeli pin safir?

A:Skenario Aplikasi

• Kondisi Material: Tentukan kondisi lingkungan yang akan terkena pin lift, seperti suhu tinggi atau lingkungan korosif.
• Tujuan: Pilih desain yang cocok berdasarkan aplikasi spesifik (misalnya, pengukuran spektroskopis, instrumen presisi, dll.).

Dimensi dan Spesifikasi

• Diameter dan Panjang: Pilih diameter dan panjang yang tepat berdasarkan ukuran sampel yang didukung atau diangkat.
• Persyaratan Toleransi: Pastikan bahwa pin angkat memenuhi persyaratan toleransi dimensi aplikasi Anda untuk menjaga akurasi.

Rekomendasi produk terkait

batang safir