Cara Merancang Perisai Elektromagnetik untuk Ruang Bersih SiC Semi-Isolasi

Perisai elektromagnetik menjadi pertimbangan penting dalam desain ruang bersih untuk pembuatan substrat SiC semi-isolasi.

Karena substrat SiC semi-isolasi memiliki resistivitas listrik yang tinggi, medan elektromagnetik eksternal dapat mempengaruhi distribusi muatan dan potensi listrik permukaan.Desain pelindung yang tepat dapat membantu mengurangi gangguan ini dalam proses semikonduktor sensitif.

Apakah Seluruh Ruang Bersih Membutuhkan Perisai Elektromagnetik?

Tidak tentu.

Ruang bersih SiC semi-isolasi harus dibagi sesuai dengan kondisi paparan substrat, sensitivitas proses, dan kerentanan elektromagnetik peralatan.

Ketika wafer tetap berada di dalam pembawa tertutup, pembawa itu sendiri dapat memberikan tingkat perlindungan elektromagnetik tertentu.Bahan polimer konduktif atau struktur polimer berlapis logam dapat digunakan untuk pembawa wafer, dan rumah pembawa harus di bumi secara listrik.

Setelah wafer dikeluarkan dari wadah dan langsung terpapar lingkungan kamar bersih, pelindung tingkat bangunan menjadi lebih penting.

Daerah Kritis untuk Perisai Elektromagnetik

Daerah fotolitografi

Setelah lapisan fotoresist, permukaan substrat dapat menjadi sangat sensitif terhadap variasi potensial listrik.Perisai elektromagnetik dapat membantu menjaga keseragaman lapisan dan akurasi litografi.

Wilayah CMP

Pengendalian potensi permukaan penting untuk menjaga perilaku bubur yang stabil dan kinerja polesan yang konsisten.

Daerah Inspeksi

Sistem inspeksi sinar elektron dan sinar ion sangat sensitif terhadap gangguan elektromagnetik.

Struktur Perisai Umum

Struktur pelindung elektromagnetik kamar bersih dapat menggabungkan:

• Plat logam
• Lapisan jaring logam
• Struktur pelindung konduktif tertanam

Struktur ini dapat dipasang di dinding, langit-langit, dan lantai.

Bahan pelindung umum termasuk:

• Foil tembaga
• Lembar baja galvanis
• Plat baja tahan karat

Ketebalan dan struktur lapisan pelindung harus dipilih sesuai dengan efektivitas pelindung yang diperlukan dan rentang frekuensi target.

Efektivitas Perisai Sasaran

Berbagai rentang frekuensi membutuhkan target pelindung yang berbeda.

Target yang sebenarnya harus ditentukan berdasarkan apakah paparan elektromagnetik pada frekuensi tertentu dapat menghasilkan muatan induksi yang cukup untuk mempengaruhi stabilitas proses atau hasil.

Menjaga Kontinuitas Perisai

Lapisan pelindung hanya efektif jika kontinuitas listriknya dipertahankan dengan benar.

Pertimbangan desain penting termasuk:

• Gasket konduktif atau pita perekat konduktif pada sendi panel
• Struktur pelindung yang tumpang tindih setidaknya 50 mm
• Jendela ventilasi pembimbing gelombang untuk bukaan
• Pita penyegelan konduktif pada pintu
• Kontak listrik perimeter penuh antara bingkai pintu dan pita penyegelan

Perputaran kecil, celah, atau bukaan yang dirancang dengan buruk dapat mengurangi kinerja pelindung secara keseluruhan.

Mendasarkan Sistem Perisai

Lapisan pelindung harus menggunakan sistem grounding impedansi rendah dengan grounding titik tunggal.

Resistensi tanah yang direkomendasikan adalah ≤1 Ω.

Berbagai titik grounding dapat menciptakan ground loop. arus yang diinduksi yang mengalir melalui loop ini dapat menghasilkan medan magnet sekunder dan mengurangi efektivitas sistem pelindung.

Kesimpulan

Perisai elektromagnetik yang efektif untuk pembuatan SiC semi-isolasi bukan hanya masalah menambahkan panel logam ke ruang bersih.

Desain yang sukses harus mengintegrasikan bahan pelindung, kontinuitas struktural, bukaan, pintu, pengantar, pembawa wafer, dan zonasi proses.

Dengan memfokuskan sumber daya pelindung pada fotolitografi, CMP, dan area inspeksi,produsen semikonduktor dapat membangun lingkungan kontrol elektromagnetik yang lebih ditargetkan sambil menghindari perisai yang tidak perlu di seluruh fasilitas.