Quartz Wafer Boat Tinggi-Kebersihan & suhu tinggi tahan Disesuaikan

Pengantar Produk

Sebuah wafer boat, juga dikenal sebagai boat atau carrier, adalah alat penting dalam pembuatan semikonduktor untuk memegang, mentransfer, dan memposisikan wafer.Desainnya harus tahan terhadap kondisi ekstrem seperti suhu tinggi (> 1000 °C), korosi kimia, dan pelepasan elektrostatik (ESD) untuk memastikan keselamatan wafer selama berbagai proses.

Prinsip

Aku tidak tahu.Perataan & Fixation:
Lubang posisi di perahu sejajar dengan pin di kaset wafer, memungkinkan transfer batch tanpa penanganan manual.
Slot dua lapisan (atas dan bawah) mengamankan wafer selama siklus termal (misalnya, pengelasan).

Aku tidak tahu.Pengelolaan Tekanan Termal:
Bahan ekspansi termal rendah (0,5×10−6/°C) meminimalkan warpage di bawah fluktuasi suhu.
Struktur honeycomb mendistribusikan tekanan termal secara merata.

Kompatibilitas Proses:
Geometri slot (misalnya, tipe I, tipe V) mengakomodasi ketebalan wafer yang bervariasi (300 ‰ 800 μm) sambil memastikan aliran reaktan fase gas.
Potongan silang berbentuk berlian memungkinkan pengisian robot bidirectional, meningkatkan throughput.

Keamanan & Perlindungan:
Komponen buffer (besi, bantalan karet) menyerap kejut mekanis selama penempatan wafer.
Pemurnian nitrogen menghilangkan residu, mencegah kontaminasi

Karakteristik

Kaca silika cair adalah kaca industri khusus yang terbuat dari silikon dioksida (SiO2).

• Aku tidak tahu.Ketahanan suhu tinggi:

Titik pelembut: ~ 1730°C.
Bekerja terus-menerus pada suhu 1100~1250°C dan tahan paparan jangka pendek hingga 1450°C.

• Aku tidak tahu.Inertitas Kimia:

Tahan terhadap sebagian besar asam (kecuali asam hidrofluorat).
Ketahanan korosi 30 kali lebih tinggi dari keramik dan 150 kali lebih tinggi dari stainless steel.
Mempertahankan stabilitas dalam kondisi termal yang ekstrim, mengungguli bahan lain.

• Stabilitas termal:

Koefisien ekspansi termal yang sangat rendah (~ 5,5×10−7/°C).
Bertahan terhadap kejut termal (misalnya, pemanasan hingga 1100 °C dan meredam dalam air).

• Aku tidak tahu.Transparansi optik:

Transmisi spektrum luas dari ultraviolet (UV) ke inframerah (IR).
Transmisi cahaya tampak: >95%.
Transmittansi UV mencapai puncak > 85% pada kisaran 185-250 nm.

• Aku tidak tahu.Isolasi Listrik:

Resistivitasnya 10.000 kali lebih tinggi dari kaca biasa.
Sifat dielektrik yang sangat baik bahkan pada suhu tinggi.

Aplikasi